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第五十二章 投身科研,此生无悔

六月中旬,蓉城,华科院光电技术研究所,这里是华夏光刻机项目研发的主要科研单位之一。

“哈哈,财神爷到了,快里面请!”倪院士刚下车,罗所长热情的招呼道。

倪院士最近绝对称的上华科院的“福星”,仗着自己资格老,资金充沛,接连造访了春城光电精密机械研究所,沈城自动化研究所,江城物理研究所……

倪院士对每个研究所做过专门的功课,涉及到华夏的重大项目他不参与,一门心思的盯着缺少科研经费的研究所,在其中寻找适合与大秦科技合作研发的部门。

各个研究所只有两个选择,要么和大秦科技合作一起玩,要么人被带走,如今倪院士的恶名流传在整个华科院,华夏工程院的圈子里。

研究所方面相当无奈,打不得骂不得,不想合作倪院士就挖人,要是不想被挖人也好办,给那个部门充足的经费,一般人是不会放弃华科院的工作跟倪院士走的,关键是研究所没经费啊!研究经费充足的研究所倪院士也不去,就挑穷的欺负。

倪院士连忙回应:“罗所长,好几年没见了,身体还好吧?”

罗所长苦笑道:“本来挺好,知道你要来就不太好了,说说,看上谁了?”

倪院士满脸笑容,人老心不老的搓了搓手,“哪的话,合作,我是来合作的!一切为了华夏嘛,挖人像什么话。”

罗所长就差把鄙夷二字写在脸上了,心里暗叹:MD,有钱真好。

一群人进入会议室,罗所长率先开口,“开门见山吧,能来的研究组负责人都在这了,不能来的你也别惦记,规矩我就不多说了。”

倪院士笑道:“懂,绝对不让你为难,这次来主要是激光器输出功率,重复频率,曝光能量,离轴照明,相移掩模等十三个小项目的合作研发,罗所长,没问题吧。”

下面涉及到的人脸色激动,有钱啦,终于有钱啦。实话说,科研人员真的是旱的旱死,涝的涝死,缺少科研经费的科学家不在少数。

而大秦科技只要技术和专利,学术成果和论文是他们的,这可是为他们科研地位添砖加瓦的大好事。

光刻机的构造,一般分为:照明系统(光源+产生均匀光的光路),工作台系统,镜头组,搬送系统,校准系统。另外半导体光刻机的工作温度必须保持在23度,所以要保证晶圆在恒温和无尘的环境。

光刻机的原理就是用光来投射到工作台上产生衍射,然后镜头收集到光汇聚到晶圆上,形成图形,所以光是产生图形的必要条件。

准分子激光器扫描步进投影光刻机最关键的三项技术指标是:光刻分辨率、套刻精度和产能。

光刻分辨率和套刻精度这里先不表,提高产能则是光刻机实现产业化的必要条件。为了提高生产效率,必须优化设计激光器输出功率、重复频率、曝光能量控制、同步扫描等各个技术环节。

倪院士与光电技术研究所的项目,就是提高产能和工艺方面的的十几个小模块。由于大秦科技把光刻机,蚀刻机等项目分解成上千个子项目,所以合作的各个研究所都分得了一些合适的项目。

这也算是一种另类的举国之力,大秦科技除了研发几个核心模块,统筹协调之外,剩余的工作就是砸研发资金了。

如此一来,既与各个科研单位互惠互利,保持了良好的关系,又加快了半导体设备的研发速度,一举两得。

别看罗所长别别扭扭的,他对于倪院士的到来可谓满心欢喜,就是心中有些羡慕嫉妒罢了。

罗所长扭头瞅了下面的科研人员一眼,“行吧,还是按照长光所那边的规矩?”

倪院士点点头,“是的,不过你们这还有些“闲人”给我如何,你也知道我下面还有个智能设备研发部,哎,缺人啊!”

罗所长心里不知道吐槽了多少句?不过他也知道倪院士很识趣,不会让他为难,递过来的名单看都没看,有气无力的说了句,“你派人接触吧,总不能让我给你送过去吧。”

“哪能呢,我稍后就派人接触,对了,福利名单准备好没?”

下面众人眼睛一亮,期待的看着罗所长,罗所长觉得有些丢人,干咳了一声,“准备好了,等下交给你。”

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